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本发明公开了一种评价半导体器件肖特基电流输运方式的方法，属于半导体器件特性物理机制评价方法技术领域。该方法在得到器件在不同温度条件下的logI—V关系曲线后，拟和分析获得logI—V关系曲线的斜率，通过对比不同温度条件下logI—V关系曲线...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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