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一种掩模台垂向测量装置，包括掩模台中的承版台和至少三个电容传感器，所述承版台依次包括承版台本体、绝缘层和至少三个导电膜，所述绝缘层覆盖在所述承版台本体底部，所述导电膜相互独立的覆盖于所述绝缘层底部，所述电容传感器固定在所述承版台下方，其位置...
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