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喷淋头电极总成和包含该喷淋头电极总成的等离子体处理室制造技术
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下载喷淋头电极总成和包含该喷淋头电极总成的等离子体处理室的技术资料
文档序号:7951840
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本发明大体涉及等离子体处理,尤其涉及等离子体处理中使用的等离子体处理室和电极总成。根据本发明的一个实施方式,提供一种包含热控制板、硅基喷淋头电极和紧固硬件的电极总成,其中该硅基喷淋头电极包含在该硅基喷淋头电极的背部中形成的多个部分缺口和位于...
该专利属于朗姆研究公司所有,仅供学习研究参考,未经过朗姆研究公司授权不得商用。
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