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本发明提供一种MOCVD反应器，包括炉盖、保护板、沉积区和衬托，炉盖下方是保护板，保护板下方是衬托，炉盖和保护板之间布置通有净化气体的管道，保护板和衬托之间布置从炉盖上方延伸的、通过生长气体的管道，其特征在于，在保护板的竖直方向设置一个或者...
该专利属于广东量晶光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东量晶光电科技有限公司授权不得商用。

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