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晶圆检测方法以及晶圆检测装置制造方法及图纸
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文档序号:7934841
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一种晶圆检测方法及晶圆检测装置,本发明提供一种晶圆检测方法,包括:产生测量光;使测量光在待测晶圆上形成探测光斑;使探测光斑对待测晶圆进行扫描;位于探测光斑范围内的颗粒使测量光发生散射,形成散射光;测散射光,形成对应的与时间相关的散射光信号;...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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