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本实用新型提供一种制备铜铟镓硒薄膜的等离子体协助硒化装置，包括：进气系统、热蒸发炉、等离子体发生装置、硒化炉和出气系统；所述热蒸发炉的腔体安装有第一石英管，所述等离子体发生装置的腔体安装有第二石英管，所述硒化炉的腔体安装有第三石英管，所述进...
该专利属于尚越光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过尚越光电科技有限公司授权不得商用。

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