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本发明提供即使在氧等氧化剂非存在下也能容易分解的钌膜形成用材料。发明涉及一种含有下述式（1）表示的化合物的钌膜形成用材料。Ru（PR13）l（L1）m（L2）n（1）（所述式（1）中，R1各自独立地为氢原子、卤素原子、碳原子数为1～4的烃基...
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