下载图像传感器制造方法以及图像传感器的技术资料

文档序号:7918670

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本发明提供了一种图像传感器制造方法以及图像传感器。根据本发明的图像传感器制造方法包括:第一步骤:执行针对图像传感器的有源区的刻蚀;第二步骤:形成浅沟槽区域,并且对浅沟槽区域的衬里进行氧化;第三步骤:利用沟槽掩膜进行沟槽区域离子注入,并且利用...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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