温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

控制装置根据测量移动体WST相对XY平面的倾斜角的干涉仪的测量值，在光栅(39Y1,39Y2)的周期方向使移动体相对XY平面倾斜角度α，根据此倾斜前后的编码器系统(62A,62C)的测量值与角度α的信息，算出光栅表面相对XY平面内的移动体的...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。