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本发明公开了一种形状测量设备，其通过探测器以非接触方式扫描工件的表面并测量所述工件的表面形状。所述探测器包括：光照射单元，其将线状光照射到所述工件上；以及成像单元，其使从所述光照射单元照射的光的反射光成像，所述反射光由所述工件反射。所述成像...
该专利属于株式会社三丰所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社三丰授权不得商用。

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