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本发明公开了一种形状测量设备，包括：光照射单元，其将线状光照射到工件上；成像元件，其使由所述工件反射的反射光成像；以及成像透镜，其将由所述工件反射的反射光的像形成在所述成像元件的成像平面上，并且，所述光照射单元的光照射平面、包括所述成像透镜...
该专利属于株式会社三丰所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社三丰授权不得商用。

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