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本实用新型涉及真空泵清洗技术，具体地说是一种多级干式真空泵的清洗装置，包括减压阀、质量流量控制器、电磁阀及气体管路，减压阀的一端与气体输入端相连，另一端连接有质量流量控制器；气体管路分为封闭独立的第一部分及第二部分，质量流量控制器的输出端分...
该专利属于中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司授权不得商用。

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