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板状体搬运装置制造方法及图纸
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文档序号:7912820
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一种板状体搬运装置,具有向板状体(1)的下表面供给空气、以非接触状态支撑板状体(1)的送风式支撑单元(2),该送风式支撑单元(2)包括供给空气用的空气供给源(11)、具有向上方喷出空气的喷出口(13)的容器部(14)、使空气供给源(11)与...
该专利属于株式会社大福所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社大福授权不得商用。
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