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本发明提供用于清洁一基板的方法、设备及系统，其包括一控制器及一耦接至该控制器的喷嘴。该控制器适于指挥该喷嘴以在基板上分配一均匀流体喷雾图案。该控制器适于通过调整该喷嘴的至少一个操作参数的方式来形成该均匀流体喷雾图案，以使一预定百分比的微滴在...
该专利属于应用材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料股份有限公司授权不得商用。

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