下载等离子体表面清洗装置的技术资料

文档序号:791028

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本发明公开了一种等离子体表面清洗装置,包括至少一真空腔体,其上开有一进气口和一抽气口;一传动装置,设在真空腔体内;一对金属板,分别设在传动装置的上下方,与一偏压电源的正负极相连接。本发明能够有效去除镀件(玻璃)上残存的污染物。清洗后能够不接...
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