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具有短路保护区域的镶嵌栅极制造技术
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下载具有短路保护区域的镶嵌栅极的技术资料
文档序号:7902001
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本发明一般地涉及半导体器件,更具体地说,涉及具有短路保护区域(60)的镶嵌栅极(100;图1C)及其制造方法。本发明的第一方面提供一种形成具有短路保护区域(60)的镶嵌栅极(100)的方法,该方法包括:形成镶嵌栅极,该栅极具有:衬底(12)...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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