专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
AZ电子材料美国公司
>
抗反射组合物及其使用方法技术
>技术资料下载
下载抗反射组合物及其使用方法的技术资料
文档序号:7901558
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供了新型抗反射涂料组合物,所述抗反射涂料组合物包含a)式1的化合物,b)热酸产生剂,(c)至少一种聚合物,(式1)(I),其中U1和U2独立地是C1-C10亚烷基;V选自C1-C10亚烷基、亚芳基和芳族亚烷基;W选自H、C1-C10...
该专利属于AZ电子材料美国公司所有,仅供学习研究参考,未经过AZ电子材料美国公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。