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一种垂直结构功率器件制造技术
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文档序号:7899355
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本发明公开了一种垂直结构功率器件,其目的是以更低成本提供更高性能的功率器件,本发明中,垂直结构功率器件包括:漏区,所述漏区包括具有第一导电类型的第一半导体材料;漂移区,所述漂移区与所述漏区邻接且所述漂移区包括n型柱、p型柱和绝缘区,所述n型...
该专利属于成都芯源系统有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都芯源系统有限公司授权不得商用。
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