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一种投影光刻物镜，把物面的图像聚焦成像在像面上，从物面开始沿光轴依次包括：一具有正光焦度的第一透镜组G11；一具有负光焦度的第二透镜组G12；一具有正光焦度的第三透镜组G13；以及一具有负光焦度的第四透镜组G14；其中，所述透镜组G11、G...
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