下载折断装置及折断方法的技术资料

文档序号:7890501

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本发明提供一种沿着划线以非接触方式折断脆性材料基板的折断装置。是由用来以形成有划线S的面朝上的姿势加以装载的装载台2、将脆性材料基板W在装载台2上保持于定位置的保持手段11、及配置在装载台2上方的吸引垫21构成,吸引垫21具备于下面侧产生朝...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。

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