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用于使沉浸在含水漂洗槽液中的一个或多个半导体晶片干燥的过程，包括： 将密度小于水的有机干燥溶剂加入到所说槽液中以在所说槽液中形成下层含水层和上层有机层，所说晶片完全保持浸渍在所说下层含水层，及； 将所说晶片通过所说上层有机层从所...
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