下载液体供给设备的技术资料

文档序号:786929

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一种液体供给设备,用于给往工作件上喷射处理液的处理液喷射装置供给处理液,该设备能够提供高质量的处理液,而不浪费处理液,由于处理液喷射装置在工作等待期间喷射一定量的处理液和这些处理液被通过气密性密封的槽进入液体罐和进行循环,液体供应设备能够供...
该专利属于索尼碟技术株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过索尼碟技术株式会社授权不得商用。

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