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提供一种洗涤方法和采用这种洗涤方法的液晶装置的制造方法，即使用烃类洗涤液进行洗涤，也可以从工件上完全除去有机物类和无机物类等任一种类型的污垢，同时不会残留界面活性剂。在洗涤机５００中，作为前洗涤工序，在第一和第二预备洗涤槽６０２、６０３中，...
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