温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种方法，该方法关于从位于基片上方的一喷嘴，喷洒一由百万赫频率带域超音波频率的音波所搅动的液体到该基片上。同时，当喷嘴扫过基片的上方时，基片以超过３００ＲＰＭ的转速自旋。在借由音波搅动液体之前，基片可于一刷子机台中刷洗。本发明的设备具有一臂...
该专利属于拉姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过拉姆研究公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。