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一种柔性IGZO薄膜晶体管制造技术
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文档序号:7865351
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本实用新型提出一种柔性IGZO薄膜晶体管。该薄膜晶体管采用底栅顶接触型TFT结构,包含塑料衬底、缓冲保护层、删电极、栅绝缘层、源极以及漏极、IGZO半导体层以及保护层,其中塑料衬底位于薄膜晶体管的最下层,塑料衬底上覆盖缓冲保护层,缓冲保护层...
该专利属于广东中显科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东中显科技有限公司授权不得商用。
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