下载一种提高类单晶晶体质量的方法的技术资料

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本发明涉及一种提高类单晶晶体质量的方法,具有以下步骤:(1)硅片清洗,(2)硅片漂洗,(3)硅片表面处理:在硅片表面形成氮化硅钝化膜,氮化硅钝化膜厚度>70nm,形成钝化硅片;(4)高纯石英板表面处理:高纯石英板的纯度>4N,将高纯石英板置...
该专利属于常州天合光能有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州天合光能有限公司授权不得商用。

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