温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种喷嘴清洗装置及基板处理装置，能够提高喷出喷嘴的清洗处理的清洗效果。在清洗细缝喷嘴（４１）的清洗部（７４）上，设置接近细缝喷嘴（４１）的喷出口（４１ａ）的下方的导向块（７４３）。此外，在设置喷出氮气的气体喷嘴（７１０）和喷出漂洗...
该专利属于大日本网目版制造株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过大日本网目版制造株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。