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清洗阵列基底的自动方法技术
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文档序号:786026
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本发明公开了用于清洗阵列基底的方法。所述方法包括将阵列基底与第一清洗溶液相接触以及触发自动清洗过程。所述的自动清洗过程包括:a)将阵列基底与第一清洗溶液分离,b)将阵列基底与第二清洗溶液接触,c)在受控条件下于第二清洗溶液中对阵列基底进行保...
该专利属于安捷伦科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安捷伦科技有限公司授权不得商用。
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