下载用于面板处理系统的吸取单元组件的技术资料

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一种用于面板处理系统的吸取单元组件,包括:压力流体生成单元;流体供给单元,该流体供给单元具有与所述压力流体生成单元相通的供给通道,并具有排出室;将由供给通道供给的压力流体引导至排出室的导向单元;以及吸取单元,该吸取单元具有与所述导向通道相通...
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