温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种清洗探头和具有所述清洗探头的兆频超声波清洗设备，所述清洗探头能够对整个晶片提供均匀的清洗，而且不损伤晶片的边缘部分。所述清洗探头包括：位于接近晶片中心的前部分、连接到压电换能器的后部分，和位于所述后部分和所述前部分之间的突起...
该专利属于三星电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三星电子株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。