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本发明公开了一种硅片表面颗粒定点清除系统，包括扫描物镜、高度和方位角调节装置、水平清洁气流输出装置、和定向能装置，所述定向能装置安装在高度调节装置上，并可相对扫描物镜做上下平动和绕扫描物镜做水平转动，定向能装置沿近水平方向对准硅片表面。本发...
该专利属于上海华虹NEC电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹NEC电子有限公司授权不得商用。

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