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泵送设备包括：干式低真空泵，它装备有连接到真空室的气体入口并且具有通向导管的气体出口；安放在该干式低真空泵的出口处的导管中的传送单向阀；以及相对于该传送单向阀平行安装的喷射器。泵送方法包括以下步骤：利用干式低真空泵通过气体入口泵送真空室中所...
该专利属于阿迪克森真空产品公司所有，仅供学习研究参考，未经过阿迪克森真空产品公司授权不得商用。

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