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按照现有技术裂纹很难净化并经常导致所要净化的部件的其他区域损坏。在按照本发明的方法中使用一种等离子体净化方法，在该方法中改变压强（ｐ）和／或电极（１０）与部件（１）之间的距离（ｄ），以实现在裂纹（４）内等离子体净化。...
该专利属于西门子公司所有，仅供学习研究参考，未经过西门子公司授权不得商用。

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