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本发明公开了一种用于清洁ＴＦＴ－ＬＣＤ（薄膜晶体管－液晶显示器）工业用大型光刻掩模板的方法，利用高压空气枪，辅助聚合物清洁棒和工业用棉棒的方法，并适时利用辅助试剂丙酮和纯水，达到有效清除光刻掩模板表面的微小异物颗粒和污渍的效果。本清洁方法适...
该专利属于上海广电NEC液晶显示器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海广电NEC液晶显示器有限公司授权不得商用。

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