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除尘装置制造方法及图纸
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文档序号:785412
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提供可以充分地除去附着在立体的形状、具有凹凸的复杂的形状的零件上的异物的除尘装置。该除尘装置具备:具有保持处理对象50的保持台30的除尘室12;对处理对象50吹送空气的空气喷射装置22;和从除尘室12吸引尘埃的负压产生装置18;其中除尘室1...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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