除尘装置制造方法及图纸

技术编号:785412 阅读:176 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
提供可以充分地除去附着在立体的形状、具有凹凸的复杂的形状的零件上的异物的除尘装置。该除尘装置具备:具有保持处理对象50的保持台30的除尘室12;对处理对象50吹送空气的空气喷射装置22;和从除尘室12吸引尘埃的负压产生装置18;其中除尘室12,具有用于使保持台30平面移动的保持台移动装置,保持台30,被构成为可以倾斜。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种除尘装置,该除尘装置具有:具备保持处理对象的保持台的除尘室;对前述处理对象吹送空气的空气喷射装置;和从前述除尘室吸引尘埃的负压产生装置;其特征在于,前述除尘室,具有用于使前述保持台平面移动的保持台移动装置;前述保持台,被 构成为可以倾斜。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:伊藤文人
申请(专利权)人:精工爱普生株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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