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本发明公开了一种清洁装置及结合此装置的设备清洁方法。清洁装置包含清洁载具及压力控制系统，清洁载具具有座部及外壳体彼此接合形成清洗腔，外壳体顶端设有导孔，座部内包含流体通道与待清洁物连通；压力控制系统则具有给压部与导孔压力相连，而使压力控制系...
该专利属于友达光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过友达光电股份有限公司授权不得商用。

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