下载一种用于感光芯片除尘的吹洗方法及其装置的技术资料

文档序号:784830

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种用于感光芯片除尘的吹洗方法,该方法包括以下步骤:1)将感光芯片送入一除尘箱中设有吹嘴的除尘处;2)使用吹嘴对所述的感光芯片进行吹洗,并同时使用抽气装置对所述的除尘箱进行抽气;3)将该感光芯片送出所述的除尘箱。采用这样的方法以...
该专利属于比亚迪股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过比亚迪股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。