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本发明提供一种对可省略纯水清洗步骤的被清洗物进行清洗、干燥的清洗干燥装置，可以防止清洗时间变长，也可以延长清洗液的寿命。清洗干燥装置（１０）包括：外侧容器（１４）；内侧容器（３８），设置在所述外侧容器内，具有用于使所述被清洗物出入的开口部，...
该专利属于爱斯佩克株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过爱斯佩克株式会社授权不得商用。

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