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一种室温隧道各向异性磁电阻器件及其制备方法技术
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文档序号:7847362
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本发明公开了一种室温隧道各向异性磁电阻器件及其制备方法。该器件结构依次包括:基片、底电极、铁磁层(FM)、反铁磁层、隧穿层和顶电极;其中,铁磁层为由垂直磁化膜构成,包括垂直磁化的[Co/Pt]n、[Co/Pd]n、[Co/Ni]n多层膜(n...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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