下载基板清洗用双流体喷嘴的技术资料

文档序号:784625

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种基板清洗用双流体喷嘴,该喷嘴包括:第一收容部及第二收容部,以用于分别收容互不相同的流体;用于移送收容于所述第一收容部的第一流体的第一通道,在其端部形成有喷射所述第一流体的第一喷射口;用于移送收容于所述第二收容部的第二流体的第二...
该专利属于K.C.科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过K.C.科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。