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基板清洗用双流体喷嘴制造技术
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文档序号:784625
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本发明公开一种基板清洗用双流体喷嘴,该喷嘴包括:第一收容部及第二收容部,以用于分别收容互不相同的流体;用于移送收容于所述第一收容部的第一流体的第一通道,在其端部形成有喷射所述第一流体的第一喷射口;用于移送收容于所述第二收容部的第二流体的第二...
该专利属于K.C.科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过K.C.科技股份有限公司授权不得商用。
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