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一种无横梁连接双边驱动工件台的定位对准装置，属于超精密加工和检测设备技术领域。本发明定位装置包含两个相同定位组件，每个定位组件由一个可伸缩单元、一个推杆、一个定位凹槽和一个位置传感器组成，位置传感器用于工件台的位置检测，提供定位执行信号。本...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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