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本发明涉及一种使用在电子束产生设备中的支承板(22)和逸出窗口箔(20)的组件。所述支承板(22)被设计来减少在所述箔(20)中的皱褶。所述箔(20)沿着限定支承板(22)的设置成孔和箔支承部相互间隔的模式的区域的边界的闭合粘接线粘接到支承...该专利属于利乐拉瓦尔集团及财务有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过利乐拉瓦尔集团及财务有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种使用在电子束产生设备中的支承板(22)和逸出窗口箔(20)的组件。所述支承板(22)被设计来减少在所述箔(20)中的皱褶。所述箔(20)沿着限定支承板(22)的设置成孔和箔支承部相互间隔的模式的区域的边界的闭合粘接线粘接到支承...