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本发明公开了一种基于悬臂梁的双光栅光纤矢量加速度计，包括外壳、第一小孔、第一光纤光栅、第二光纤光栅、第二小孔、质量块、悬臂梁和支座，其中外壳用于作为该光纤矢量加速度计的支撑结构，在该外壳相邻的两个侧壁上开有第一小孔和第二小孔，第一小孔用于固...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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