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光电分类设备制造技术
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文档序号:783913
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一种用于对半导体材料进行光电分类的设备,其中该设备含有:一个分散装置2和一个滑面3,滑面3相对于水平面的角度是可调节的,分散装置2和滑面3各自都有一个用与被分类半导体材料相同的材料所做成的表面;一个辐射源5,被分类材料通过它的辐射束路径4下...
该专利属于瓦克化学有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过瓦克化学有限公司授权不得商用。
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