【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于半导体材料光电分类的一种设备和一种方法。为了生产太阳能电池或诸如存储元件或微处理器这类电子元件，需要高纯度的半导体材料。在最理想的情况中，这种材料所含的杂质应该只有故意加入的掺杂剂。因此希望有害杂质的浓度尽量地小。经常看到的情况是，即使对于制作得具有高纯度的半导体材料，在为获得最终产品而作进一步加工的过程中也会被重新污染。因此，为了重新获得原来的纯度，不得不需要进行一次又一次的复杂的净化步骤。进入到半导体材料晶格中的外来金属原子会扰乱电荷分布，降低最终元件的性能甚至导致其失效。所以，特别应该防止金属杂质所造成的半导体材料污染。这一点对于电子工业中使用极为频繁的硅来说特别重要。高纯度的硅例如通过对具有高度挥发性因而容易用蒸馏法纯化的硅化合物，例如三氯硅烷，进行热分解而获得。在该情形中，硅是以多晶棒的形式得到的，典型的直径从70mm至300mm，典型的长度从500mm至2500mm。大多数的硅棒用来制作甘锅拉伸单晶、硅条或硅片，或者制作多晶硅太阳能电池基底材料。因为这些产品都是用高纯度的熔融硅制作的，所有必需在坩埚内熔化固体的硅。为了使这一操作...
【技术保护点】
一种用于对半导体材料进行光电分类的设备，其中该设备含有：一个分散装置２和一个滑面３，滑面３相对于水平面的角度是可调节的，分散装置２和滑面３各自都有一个用与被分类半导体材料相同的材料做成的表面；一个辐射源５，被分类材料通过它的辐射束路径４下落；以及一个形状识别装置６，它把被分类材料的形状发送给一个控制单元７，后者控制至少一个转向装置８。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：马托伊斯尚茨，弗朗茨克普尔，迪尔克弗勒特曼，
申请(专利权)人：瓦克化学有限公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。