下载光照系统及光照方法的技术资料

文档序号:7828114

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本发明公开了一种适于对工件进行照射的光照系统及光照方法,光照系统包括承载件、至少一光源及至少一光学元件。承载件适于设置工件。至少一光源设于承载件之上,于第一方向上产生一次光。至少一光学元件,设于工件的一侧,一次光经由至少一光学元件而于第二方...
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