下载半导体晶片接合体的制造方法、半导体晶片接合体和半导体装置的技术资料

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一种半导体晶片接合体的制造方法,包括:准备隔片形成用膜的工序,其中,所述隔片形成用膜具有片状支承基材和设置在该支承基材上的具有感光性的隔片形成层;将所述隔片形成层粘贴于半导体晶片的一侧面上的工序;通过对所述隔片形成层进行曝光、显影而进行图案...
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