下载一种基于可调变掩膜版的曝光装置的技术资料

文档序号:7802274

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本实用新型公开了一种基于可调变掩膜版的曝光装置,其包括:曝光机主体,设置在所述曝光机主体上的可调变掩膜版,以及与所述可调变掩膜版相连的控制系统,所述曝光机主体用于采用所述可调变掩膜版进行曝光操作;所述控制系统用于控制所述可调变掩膜版图形的变...
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