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一种阵列力传感器制造技术
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文档序号:7801856
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力敏传感器就是探测力的传感器,利用材料的物理性质在力的作用下发生变化的现象而制备。力敏传感器的种类甚多,但都是对于单一均与力的探测,但是,实际应用中,力往往是不均匀分布的。本实用新型提供一种阵列力传感器,包括底电极、顶电极、力敏材料层,其中...
该专利属于林志娟所有,仅供学习研究参考,未经过林志娟授权不得商用。
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